GFS는 진정한 일차 질량 유량 표준을 제공하며, 유량 제어 시스템의 저 가스 질량 유량의 근본 측정을 실용적으로 가능하게 합니다. GFS 일차 질량 유량 측정은 가스 유량 제어기와 다른 가스 유량 제어 장치 교정 등에 사용되는 molbloc-L과 molbloc-S같은 정밀 전달 표준의 독립 metrology 지원을 위한 아주 낮은 불확도 수치를 지원합니다.
다양한 가스로 0.2~200mg/S의 범위를 지원 (10 sccm ~ 10slm N2)
지원 가스: 비부식성, 비독성 가스
측정값의 ±0.013%에 이르는 낮은 유량 측정 불확도
최대 배출 압력: 650 kPa 절대압
질량과 시간 측정을 이용한 일차 중력분석 원리
자동 무인 운전 가능
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