- 게이지 모드, 절대모드, 차동모드 및 절대모드에서 0~15kPa (113 Torr)의 범위 교정 가능
- 1mPa의 해상도 (0.0075 mTorr, 0.000004 in. H2O)
- 측정 불확도: 계기, 절대 차동 모드에서 ± (5 mPa + 측정값의 30 ppm), 절대 모드에서 ± (8mPa 측정값의
30ppm)
- 압력 제어와 DUT 데이터 수집을 포함한 완전 자동 동작으로 다중 증가 테스트의 무인 수행 가능 필요할 시 통합 열 증산 교정
가능
FPG8601은 장기적 소급 가능성과 기존 피스톤 계공압력 범위에서의 아주 낮은 불확도를 함께 제공해주는 툴
입니다.
게이지 모드와 절대 모드 모두에서 적용되는 측정 범위는 0 (절대에서는
0.5Pa)에서 15kPa (112Torr, 2.2psi)입니다. 측정 오차는 측정값의 ±30ppm과 일반적인 전달 표준의 교정을 지원할 정도로
낮으며 130Pa (1 Torr, 0.5 in. H2O) 에서 13 Pa (100 mTorr, 0.05 in. H2O)까지 이르는 low end
한계점의 조합으로 이루어져있습니다.
FPG8601의 측정 불확도는 완전한 불확도 분석에 문서화되어 있습니다. 장비의 시간에 따른 안정도는 Tungsten
carbide 피스톤 실린더와 스테인레스 강 중량의 안정도에 달려 있기 때문에, FPG8601의 교정 주기는 특별한 교정 조건 없이 통상적인
피스톤 계기와 같습니다.
FPG8601은 뛰어난 metrology 성능뿐 아니라 완전 자동 동작도 가능합니다. 사이즈와 무게가 적합할 뿐 아니라 일반적인
하이엔드 metrology 연구소에서 구비하는 것 이상의 환경 조건을 요구하지 않습니다.
